四方光電在線塵埃粒子計數器，潔淨室環境監測的“火眼金睛”

前言：

隨著新能源鋰電池、半導體(ti) 、生物製藥、液晶麵板等領域的快速發展，對生產(chan) 環境的潔淨度提出了更高的要求，有效控製潔淨室空氣中的塵埃粒子濃度至關(guan) 重要。按照國家相關(guan) 規定，潔淨室在設計、建造以及交付運行以後，都需要對其性能和合理性進行綜合評價(jia) 分析。那麽(me) ，企業(ye) 為(wei) 了滿足生產(chan) 條件搭建符合標準要求的潔淨室環境，該如何實現對塵埃粒子的監測呢？

以往客戶僅(jin) 在項目驗收時采用手持式塵埃粒子計數器針對作業(ye) 廠區內(nei) 相關(guan) 區域進行潔淨度檢測，而工程驗收合格投入使用後，則隻會(hui) 定期安排人工進行抽查巡檢，這樣的做法會(hui) 帶來一係列的問題。

傳(chuan) 統手持式塵埃粒子計數器存在的問題及風險

1、增加了企業(ye) 的潔淨成本。

人工監測將給潔淨廠房帶來額外的人員和設備，增加了潔淨負荷。有些企業(ye) 為(wei) 了能夠確保潔淨室作業(ye) 環境持續可靠，會(hui) 連續不間斷高功率運行FFU風機，這樣做不僅(jin) 會(hui) 加快濾網、風機等的壽命消耗，也帶來了能源的浪費。

2、人工監測缺乏采樣點和采樣時間的固定性。

在手工操作下，前後兩(liang) 次采樣點的位置很難保證在同一點，采樣的時間也不能保證在不同班次或日期的同一個(ge) 相對或絕對時刻。因此，監測數據之間很難產(chan) 生相對的聯係，沒有可比性，不利於(yu) 判斷係統運行的長期趨勢。

3、定期檢測無法覆蓋所有汙染超標風險。

在生產(chan) 過程中環境的情況往往是變化的，原材料的進出、人員的更換以及產(chan) 品的變化都將對潔淨室的潔淨程度有所影響。往往在一個(ge) 班次開始時環境是滿足要求的，而在結束時發現塵埃粒子數超出了標準。由於(yu) 人工監測無法提供連續監測數據，因此無法估計係統是在何時偏離了規定工況，更無法估計產(chan) 品的質量情況。這就無法保證潔淨室潔淨度，進而影響產(chan) 品的良率和質量。

塵埃粒子計數器升級在線監測的必要性

1、標準對在線監測的要求。

新版GMP在硬件要求方麵，提高了部分生產(chan) 條件的標準，增加了在線監測的要求，特別對懸浮塵埃粒子，也就是生產(chan) 環境中的懸浮微粒的靜態、動態監測，對浮遊菌、沉降菌(生產(chan) 環境中的微生物)和表麵微生物的監測都作出了詳細的規定。

2、實現智能自動控製，無需人工參與(yu) 。

在線塵埃粒子計數器，能夠實時監測潔淨室內(nei) 懸浮顆粒的個(ge) 數並及時報警；並具備能夠與(yu) FFU風機等淨化設備智能聯動的功能，始終將環境內(nei) 懸浮塵埃粒子個(ge) 數維持在標準要求的較低範圍內(nei) ，從(cong) 而將FFU風機鄧設備的能耗和損耗控製在較低水平。

3、覆蓋整個(ge) 生產(chan) 過程，降低汙染風險。

7*24小時的連續不間斷監測，保證產(chan) 品在全流程生產(chan) 工序中免受汙染，提升產(chan) 品質量，降低不良率風險。

在線塵埃粒子計數器麵臨(lin) 的挑戰

1、連續不間斷運行，對壽命的要求。

傳(chuan) 統手持式設備多采用氣泵進行采樣，而氣泵的壽命一般僅(jin) 有幾千小時，而且成本較高，噪音較大。而且氣泵在運行一段時間後會(hui) 存在機械磨損，造成對潔淨室環境的汙染。

2、連續不間斷運行，對數據穩定性和可靠性的要求。

塵埃粒子計數器在長期運行的過程中，會(hui) 由於(yu) 光源的老化及采樣氣泵的磨損，導致測量準確度發生漂移。由於(yu) 手持式塵埃粒子計數器可以在每次使用前采用調零器進行校準，而在線塵埃粒子計數器由於(yu) 安裝位置的局限，無法實現頻繁的調零動作，這需要在線粒子計數器滿足免維護的要求。

3、多點分布式安裝，對設備係統及施工安裝的要求。

潔淨室在線監測係統，是一套實時監測潔淨區域潔淨度的在線監控管理係統，對潔淨室內(nei) 的多個(ge) 傳(chuan) 感器進行管理。包括遠程控製、數據儲(chu) 存、曆史數據查詢、數據分析和趨勢圖，當被監測區域一旦超出限定值係統將自動報警。

四方光電塵埃粒子計數器：潔淨室在線監測解決(jue) 方案

四方光電基於(yu) 12年光散射技術的研究與(yu) 創新，推出了在線塵埃粒子計數器OPC-6500F、OPC-6303M和OPC-6510，以及核心零部件激光塵埃粒子計數傳(chuan) 感器PM5000S、PM3003NS和PM5100，可廣泛應用於(yu) 百級、千級、萬(wan) 級、十萬(wan) 級等潔淨室環境。

1、低噪音渦輪風機采樣，7*24小時連續監測穩定性好。

四方光電在線塵埃粒子計數器OPC-6510采用大流量渦輪風扇采樣，相對氣泵采樣有更好的穩定性，以及壽命表現，能夠滿足10年連續工作需求。

2、28.3L恒流采樣，確保長期數據穩定性。

在線塵埃粒子計數器OPC-6510內(nei) 置超聲波流量傳(chuan) 感器，能夠快速準確的監測采樣流量，實時進行反饋調節，消除了氣泵長時間運行後采樣流量衰減的影響，保證在線塵埃粒子計數器在長期運行過程中的28.3L/min氣泵恒流采樣。

3、數據精準，與(yu) 標準儀(yi) 器設備線性相關(guan) 性R2＞0.9。

為(wei) 了驗證在線塵埃粒子計數器是否能夠滿足實際應用需求，四方光電將樣品送到韓國第三方測試機構進行了OPC6510與(yu) 標準設備委托對比測試，測試數據表明，OPC6510與(yu) 標準設備線性相關(guan) 係數R2=0.91，r=0.95。

OPC-6510與(yu) 標準設備測量值對比圖表

OPC-6510與(yu) 標準設備線性相關(guan) 性分析圖表

4、滿足ISO14644-1:2015、新版GMP、JJF1190-2008、GB/T6167-2007 標準

四方光電塵埃粒子計數器檢測性能符合國家計量總局頒布的JJF1190-2008《塵埃粒子計數器校準規範》規程的技術要求以及多種國內(nei) 外標準，同時我司也可以向企業(ye) 用戶提供核心粒子計數傳(chuan) 感器及解決(jue) 方案，協助客戶通過整機的計量認證。